配套(tao)傳動模組

阿(e)斯(si)塔(ta)克(ke)半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)配套(tao)傳動模組是(shi)專為(wei)半(ban)導體(ti)制(zhi)造(zao)及(ji)相(xiang)關精密(mi)設(she)備設(she)計(ji)的(de)傳(chuan)動解決方(fang)案，集(ji)成了(le)高(gao)精(jing)度減速(su)機、精(jing)密(mi)電(dian)機(ji)、傳感(gan)器及控制(zhi)系(xi)統，能夠(gou)實現微(wei)米級(ji)甚(shen)至(zhi)納(na)米級(ji)的(de)運(yun)動控制(zhi)精(jing)度，滿(man)足(zu)半(ban)導體(ti)工(gong)藝(yi)對(dui)設備穩(wen)定(ding)性和(he)精度的嚴(yan)苛要(yao)求。采(cai)用(yong)諧(xie)波(bo)減(jian)速(su)機、行(xing)星減速(su)機(ji)等精(jing)密傳(chuan)動機構，結合(he)高(gao)分(fen)辨(bian)率(lv)編碼器，實現±1μm以(yi)內(nei)的(de)重復定(ding)位(wei)精度，確(que)保半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)在(zai)晶(jing)圓加(jia)工(gong)、檢(jian)測等環(huan)節的(de)精(jing)準操作。

阿(e)斯(si)塔(ta)克(ke)半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)配套(tao)傳動模組特(te)點(dian)：

薄(bo)型(xing)、小(xiao)巧(qiao) 

實現了(le)機械、裝置(zhi)小(xiao)型(xing)化、構造(zao)簡(jian)單化。

內(nei)置(zhi)剛(gang)性性能(neng)優(you)異(yi)的(de)支(zhi)撐裝置(zhi)

用(yong)途：

半(ban)導體(ti)制(zhi)造(zao)設(she)備 : 搬(ban)運(yun)機(ji)器人(ren)、檢(jian)查平(ping)臺

液(ye)晶(jing)制(zhi)造(zao)設(she)備 : 搬(ban)運(yun)機(ji)器人(ren)、檢(jian)查平(ping)臺

光產業(ye)相(xiang)關裝置(zhi)